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離子濺射儀

品牌：天澤智能
型號(hào)： TZZN-1000
產(chǎn)地：天津東麗區(qū)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥888

天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司更新時(shí)間：2024-11-19 17:35:12

銷售范圍售全國

入駐年限第6年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品低溫磁控濺射離子鍍膜儀(2件)

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聯(lián)系方式：400-822-6768

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產(chǎn)品特點(diǎn)

整體含濺射主機(jī)和真空系統(tǒng)組成，濺射靶頭被設(shè)置成為一個(gè)二級(jí)濺射結(jié)構(gòu)，通過均勻恒定的電場(chǎng)激發(fā)并電離氣體分子，形成穩(wěn)定的輝光放電現(xiàn)象，被電離的離子和電子在這個(gè)電場(chǎng)下進(jìn)行加速，從而使靶原子逃離靶材表面在樣品上面形成納米涂層
配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家：

熱電（美國原荷蘭）FEI鎢絲陰極、場(chǎng)發(fā)射、飛納臺(tái)式等各類型電子顯微鏡，蔡司（德國）鎢絲陰極、場(chǎng)發(fā)射各系列的掃描電子顯微鏡，JEOL（日本電子）各類電鏡，日立（日本）各系列電鏡、臺(tái)式電鏡，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列電鏡，還有如韓國“賽科”、COXEM庫賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理，提高成像質(zhì)量、增強(qiáng)導(dǎo)電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。

詳細(xì)介紹

官網(wǎng)：www.tianzeler.ltd

天澤智能科技發(fā)展（天津）有限責(zé)任公司

1.顯示操作面為30°斜面，充分考慮操作的便捷和視覺體驗(yàn)，方便觀察操作；

2.真空泵連接管路為金屬波紋管，美觀耐用；

3.微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確，帶有刻度標(biāo)識(shí)；

4.真空泵抽速快，噪音低，適合實(shí)驗(yàn)室使用；

5.控制電路為控制板，工作穩(wěn)定可靠；

6.顯示控制操作部分布局合理，位于同側(cè)，使用方便；

7.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，布局合理，維修操作空間大；

8.采用定制“凹”密封，更加方便操作。

石英處理室：

Φ150mm,高度110mm;

Φ108mm,高度135mm;

濺射類型：（選一）

1.冷陰極磁控型二級(jí)濺射；

2.高壓直流二級(jí)濺射

3.高壓直流二級(jí)濺射升級(jí)版

試樣臺(tái)尺寸：Φ40-150mm,樣品杯插孔19-61個(gè)可選；
樣品更換：設(shè)有支撐結(jié)構(gòu)，上蓋打開可獨(dú)立支撐，
金靶尺寸：Φ50或φ57mm;
真空系統(tǒng)：靜音直聯(lián)旋片真空泵2L/S；
真空檢測(cè)：定制皮氏計(jì)，配合真空指針表，靈敏可靠；
真空保護(hù)：20pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空；
真空泄壓：自動(dòng)進(jìn)排氣（無需手動(dòng)放氣閥）。
電路保護(hù)：過載保護(hù)
工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣節(jié)；
桌面型熱蒸發(fā)鍍碳儀：

新型磁控低溫離子鍍膜儀

主要功能：

電子在電場(chǎng)的作用下，飛向基片過程中與氣體原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出氣體正離子和新的電子；新電子飛向基片，離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產(chǎn)生的二次電子借助于靶表面上形成的正交電磁場(chǎng)，被束縛在靶表面特定區(qū)域，增強(qiáng)電離效率，增加離子密度和能量，從而實(shí)現(xiàn)高速率濺射。

主要應(yīng)用：

適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜、鉑金、銀、鎳、銅等），儀器操作簡(jiǎn)單方便，是配合各類型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。是制備低維度，小尺寸納米材料器件的必備實(shí)驗(yàn)手段，廣泛應(yīng)用于集成電路，光子晶體，低維半導(dǎo)體、微生物、超微膜材料等領(lǐng)域。

配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家：

熱電（美國原荷蘭）FEI鎢絲陰極、場(chǎng)發(fā)射、飛納臺(tái)式等各類型電子顯微鏡，蔡司（德國）鎢絲陰極、場(chǎng)發(fā)射各系列的掃描電子顯微鏡，JEOL（日本電子）各類電鏡，日立（日本）各系列電鏡、臺(tái)式電鏡，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列電鏡，還有如韓國“賽科”、COXEM庫賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理，提高成像質(zhì)量、增強(qiáng)導(dǎo)電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。

離子濺射儀性能指標(biāo)及各系統(tǒng)組成

項(xiàng)目	說明
產(chǎn)品名稱	自動(dòng)低溫磁控離子濺射儀
型號(hào)	TZZN-1000DCK,TZZN-100，TZZN-200
容積、重量和尺寸
艙室尺寸	φ150X110 （mm），φ108X135毫米
外形尺寸	主機(jī)：約450X330X235mm;包裝尺寸：560X450X345 真空泵: 約480X135X200；包裝尺寸：580X215X367mm
重量	43㎏
噪音	65db以內(nèi)（離機(jī)臺(tái)正面1米并離地面1.2米處測(cè)量）
功率	約500W
電流	約10A
供電條件和電源	AC220V +保護(hù)接地電壓允許波動(dòng)范圍：10% 頻率允許波動(dòng)范圍：（50±0.5）ＨZ TN-S方式供電或TT方式供電保護(hù)地線接地電阻小于4Ω
性能指標(biāo)保證
功能保障	1.（空氣）室內(nèi)空間潔凈干燥； 2.可選配純凈氬氣氣源 3.按流程操作
理論膜厚計(jì)算	涂層的厚度一般來說，用于掃描樣品時(shí)金屬的厚度為100—300 ?，經(jīng)驗(yàn)的厚度測(cè)定可由下面的公式得到： d=KIVt 其中d是以“?！睘閱挝坏腻兡ず穸?。 K是常數(shù)，取決于濺射金屬和所充氣體，此時(shí)靶與樣品之間的距離大約是5cm。 I是等離子流的單位mA。 V是以“KV“為單位所施電壓（1.68KV）。 t是以秒為單位的時(shí)間。采用金靶和氬氣時(shí)K為0.17，如用空氣K為 0.07。因此對(duì)于典型的濺射。例如：I為8mA，t為100秒則，d=KIVt=0.17′8′100=136 ? 即每秒1.36 ? 濺射速度依賴于濺射系統(tǒng)本身的清潔程度，因此保護(hù)工作室的清潔十分重要。

服務(wù)承諾

1. 質(zhì)保期限：

到貨之日起，為期一年。

2. 安裝調(diào)試：

（1.）提供視頻安裝資料，電話和微信遠(yuǎn)程指導(dǎo)安裝和調(diào)試。

（2.）上門安裝調(diào)試（需協(xié)商）

3. 可提供的服務(wù)方式：

熱線應(yīng)答：由專業(yè)工程師通過溝通、幫助、指導(dǎo)、解決、排除故障
現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)：由工程師在最短的時(shí)間內(nèi)到達(dá)，以最快的方式排除故障。（需協(xié)商）
人性化服務(wù)：尊重以人為本的服務(wù)理念，提供超過客戶期望值的服務(wù)。
遠(yuǎn)程服務(wù)：在客戶授權(quán)的前提下，通過互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程指導(dǎo)技術(shù)人員在客戶現(xiàn)場(chǎng)處理。
定期巡檢服務(wù)：不定期由公司領(lǐng)導(dǎo)和ZS工程師帶隊(duì)，對(duì)客戶進(jìn)行巡檢，廣泛征求意見以求客戶滿意化。

4. 包裝及運(yùn)輸方式：

1.包裝：滿足QB／BWD008-2001之要求的運(yùn)輸包裝箱

2.輸方式：公路貨運(yùn)物流

升級(jí)型低溫磁控型