
離子濺射儀
是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。離子濺射鍍膜要求試樣干燥清潔。為了使試樣表面清潔,必要時(shí)將試樣與陰極換位,利用火花放電清潔表面。然后試樣復(fù)原,再進(jìn)行濺射鍍膜。常用的反應(yīng)氣體為氧氣,常用的陰極材料有鐵、鎳、銅鉛等,有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬。
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