DESK-V TSC型小型離子濺射儀，采用磁控濺射方式，廣泛用場發(fā)射掃描電鏡或透射電鏡樣品制備或高質(zhì)量鍍膜試驗。采用ZL的陽極保護柵網(wǎng)，實現(xiàn)鍍膜過程中樣品表面保持常溫狀態(tài)，沒有熱損傷。該濺射儀具有樣品等離子清洗刻蝕功能，可選配蒸碳附件。

主要功能：

1、離子濺射鍍膜

2、樣品等離子刻蝕清洗

3、蒸碳鍍膜

主要特點：

主要特點：

1、大的濺射樣品室，獲得更穩(wěn)定的真空環(huán)境，鍍膜質(zhì)量更高。

2、對樣品無熱損傷的冷濺射。

3、樣品等離子刻蝕功能，一個手動控制擋板降低樣片在刻蝕過程中受到的污染。

4、基于PLC的強大控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，可手動、半自動控制、全自動控制。

5、具有高壓真空互鎖安全機制

6、標(biāo)準(zhǔn)的操作軟件，實時監(jiān)控各部件狀態(tài)，方便技術(shù)支持，節(jié)約用戶費用。

性能指標(biāo)：

標(biāo)準(zhǔn)配置

樣品室: φ150mm X 150mm(H) 耐熱玻璃真空室

靶: 金GOLD或金鈀合金GOLD/PALLADIUM（隨機）φ50mmX0.1mm

樣品臺: φ50mm 旋轉(zhuǎn)樣品臺

濺射電流: 0-100mA

真空規(guī): 皮拉尼

濺射氣體: 空氣或氬氣

真空泵: 85L/Min 機械泵

選配

膜厚監(jiān)控: 石英晶體膜厚監(jiān)控器

樣品臺: φ75mm 旋轉(zhuǎn)樣品臺

φ100mm旋轉(zhuǎn)樣品臺（選此臺，膜厚監(jiān)控器無法安裝）

旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺 （選擇此臺，無法實現(xiàn)樣品刻蝕功能）

蒸碳附件: 碳棒或碳絲繩