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飛行時間二次離子質(zhì)譜儀

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※ 廣泛應(yīng)用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體等領(lǐng)域。 

※ 用于納米級表面成分定性或定量分析,實(shí)現(xiàn)二次離子圖像 與二次電子圖像分析。配置離子刻蝕槍,可進(jìn)行材料深度 分布分析。 

※ 并行探測所有離子,包括有機(jī)和無機(jī)分析碎片。 

※ 寬范圍的質(zhì)量探測范圍(實(shí)際測量中>1000m/z原子 量)。 

※ 極高的空間分辨率。 ※ 超高靈敏度1E+9 atoms/cm 。 

※ 導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體表面均可測試。

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