
二次離子質(zhì)譜儀
是用來檢測材料的一種儀器,即是利用離子束把待分析的材料從表面濺射出來,然后再檢測出離子組分并進行質(zhì)量分析,是對微粒進行同位素分析的有力工具,是利用質(zhì)譜法分析初級離子入射靶面后,濺射產(chǎn)生的二次離子而獲取材料表面信息的一種方法。
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