分享 | 半導(dǎo)體行業(yè)要求的“快”速檢測

來源：巴斯德儀器（蘇州）有限公司      分類：應(yīng)用方案 2025-05-06 18:05:46 19閱讀次數(shù)

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隨著智能手機、云計算、人工智能和物聯(lián)網(wǎng)等高新技術(shù)的普及，半導(dǎo)體市場需求迅速增長，“快”速檢測被急切需求著。

三豐的高精度影像測量機，長期服務(wù)于全球制造業(yè)而獲得的經(jīng)驗積累，為半導(dǎo)體行業(yè)上、中、下游快速的測量需求提供了理想的解決方案。

01

倒裝芯片檢測方案

倒裝芯片（Flip chip）廣泛應(yīng)用于高端物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備等電子產(chǎn)品中，是構(gòu)建智能化產(chǎn)品的基礎(chǔ)單元之一。

芯片表面的平整程度會影響其連接效果，大多數(shù)半導(dǎo)體廠商會以倒裝主板中心點為原點，中心線為軸線，對各測量部位相對于原點的X方向和Y方向的差的絕對值（坐標差）進行評價分析，測量坐標差。

芯片表面凸點繁多，線路板布線復(fù)雜，接觸式測量難以實現(xiàn)快速的批量檢測，按照一般的非接觸式的測量方法，通常是對每個測量部位先對焦再測量，耗費的時間太長。

• TAF功能高效對應(yīng)坐標差檢測
  

影像測量機QV Pro的TAF激光自動追蹤功能，對于芯片這類非平整表面（且高度差變化不大）進行掃描時，無需停頓式對焦，從而大大提高了測量效率。

TAF：激光自動跟蹤對焦，工作原理是通過物鏡中的同軸激光進行自動對焦，使Z軸實時追蹤到被測物的高度變化，自動進行高度調(diào)整，保證對焦清晰。

• 表面細微3D形狀的高精度測量

此外，在多層基板IC組件的測量中，如需測量配線的線寬和線距、過孔直徑、表面粗糙度時，還可使用白光干涉儀WLI，利用與工件之間產(chǎn)生的白光干涉，可實現(xiàn)細微領(lǐng)域的表面分析（粗糙度等）以及形狀（數(shù)微米的不規(guī)則）的高精度3D測量。

倒裝芯片IC組件

02

蝕刻機-噴淋頭

測量方案

噴淋頭（Shower Head）是組裝在硅晶片干刻蝕設(shè)備電極內(nèi)的裝置，主要功能是向反應(yīng)腔室供應(yīng)等離子體，表面分布著密集的氣體供給孔。每個孔的尺寸會直接影響到刻蝕機上所產(chǎn)生的等離子體均勻性。

噴淋頭的主要測量項目是表面密集分布的孔的直徑、基于基準的坐標位置及平面度等。測量孔如此繁多，通常的影像檢測時間會讓測量者等到崩潰，更難以適應(yīng)“半導(dǎo)體行業(yè)”的“快”需求，而使用影像測量機的“飛測功能——STREAM模式”。

工作臺可以保持無停頓的移動來測量噴頭眾多孔尺寸或異物侵入檢測，實現(xiàn)了優(yōu)于普通模式的5倍效率的測量，為高效測量需求的行業(yè)帶來福音。

03

汽車半導(dǎo)體 IGBT模塊

檢測方案

IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)是變頻器的核心晶體管。主流的IGBT是半導(dǎo)體零件的集合體，是新能源汽車的核心部件之一。

該產(chǎn)品的測量通常需要涉及到多個針腳的位置和高度的測量。影像測量儀QV Pro標配的頻閃照明，其高效的對焦動作以及快速準確的位置測量，非常適合用于此類工件的測量。

在獲得準確結(jié)果的同時，無論是表面高度測量還是邊緣對焦，甚至是多點同時對焦都能輕松對應(yīng)。

三豐量具量儀 敬上
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