一、掃描電子顯微鏡SEM3000產(chǎn)品概述：

掃描電子顯微鏡SEM3000是一款使用鎢燈絲的高性能掃描電子顯微鏡。觀察亞微米級的微觀結(jié)構(gòu)，放大倍數(shù)可達(dá)到100000倍。此型產(chǎn)品具有快速更換燈絲的優(yōu)點。其分辨率輕松優(yōu)于10 nm。在自動五軸樣品臺的配合下，非常適用于生產(chǎn)品質(zhì)控制及樣品篩選,適合傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡無法滿足需求的用戶。

二、掃描電子顯微鏡SEM3000產(chǎn)品應(yīng)用：

三、掃描電子顯微鏡SEM3000產(chǎn)品參數(shù)：

掃描模式
行掃：2 ms-80 ms  幀掃：0.4 s-160 s

快掃模式：512x512像素（可選256x256像素）

觀察模式：1024x1024像素（三檔速度）

拍照模式：4096x4096像素（三檔速度, 可選1024x1024像素）

真空系統(tǒng)

主泵：渦輪分子泵

前級泵：旋片式機(jī)械泵

系統(tǒng)極限真空度：5 x 10^-4Pa（渦輪分子泵）

探測器

二次電子、背散射電子（選配）、X能譜儀（選配）

樣品臺

X、Y、Z、R、T 五軸電動樣品臺

X：50 mm；

Y：50 mm；

Z：40 mm；

R：360°；

T：-15° 到+60°

安裝要求

電源：AC220 V；50 Hz;2KVA

地線：獨立地線一條，小于10Ω

溫度：15 ℃-30 ℃

濕度：≤70%

地面震動：≤5 μm/sec

交流磁場：≤0.3 μT

門寬：≥900 mm

外形尺寸和重量

主機(jī)  ：700（W）x750 

D）x1450（H）；160 kg