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掃描電子顯微鏡-量子超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SEM5000X

品牌：國儀量子
型號： SEM5000X
產(chǎn)地：安徽合肥
供應(yīng)商報價：面議

國儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司更新時間：2025-04-21 19:15:58

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品場發(fā)射(2件)

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掃描電子顯微鏡-量子超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SEM5000X

掃描電子顯微鏡-量子超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SEM5000X 核心參數(shù)

加速電壓	20 V ~ 30 kV	放大倍數(shù)	1 ~ 2,500,000 x
分辨率	0.6 nm@15 kV 1.0 nm@1 kV

產(chǎn)品特點

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。

詳細介紹

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電鏡，電子光學鏡筒設(shè)計優(yōu)化，綜合像差降低了 30%，從而達到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高穩(wěn)定性，可在先進納米結(jié)構(gòu)和納米材料的研究、高端芯片半導體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢。

突破性的分辨能力

機械中心樣品臺

*雙減速模式（Duo-Dec）

*快速換樣倉
（最大8寸）

高穩(wěn)定性

豐富的擴展能力

產(chǎn)品優(yōu)勢

超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設(shè)計，可搭配整體罩殼設(shè)計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導體和科研應(yīng)用需求

應(yīng)用案例

介孔二氧化硅/1 kV（Duo-Dec）/lnlens

陽極氧化鋁板 /10 kV/Inlens

芯片/5 kV/BSED-COMP

腎臟切片 /5 kV/BSED-COMP

泡沫鎳/2 kV/ETD-SE

藍寶石襯底/5 kV/ETD-SE

金顆粒/1 kV/Inlens

光刻膠/2 kV/ETD-SE

磁性粉末/10 kV/Inlens

二氧化硅球/3 kV/ETD-SE

催化劑/1 kV/ETD-SE

波導/1 kV/ETD-SE

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率	0.6 nm @ 15 kV，SE
	分辨率	1.0 nm @ 1 kV，SE
	加速電壓	20 V ~ 30 kV
	放大倍率	1 ~ 2,500,000 x
	電子槍類型	肖特基場發(fā)射電子槍
樣品室	攝像頭	雙攝像頭（光學導航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控）
	樣品臺行程	X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
	樣品臺行程	T: -10°~+70°，R: 360°
探測器和擴展	標配	鏡筒內(nèi)電子探測器（Inlens）
	標配	倉室內(nèi)電子探測器（ETD）
	選配	插入式背散射電子探測器（BSED）（五分割，可選配）
		插入式掃描透射探測器（STEM）
		低真空二次電子探測器（LVD）
		能譜儀（EDS）
		背散射衍射（EBSD）
		樣品交換倉（4寸和8寸可選）
		軌跡球&旋鈕板
		雙減速技術(shù)（Duo-Dec）
軟件	語言	中文
	操作系統(tǒng)	Windows
	導航	光學導航、手勢快捷導航，軌跡球（選配）
	圖像記錄	TIFF、JPG、PNG、BMP等
	自動功能	自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散