激光刻蝕機(jī)
實(shí)際上狹義理解就是光刻腐蝕,先通過光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理,然后通過其它方式實(shí)現(xiàn)腐蝕處理掉所需除去的部分。廣義上來講,刻蝕成了通過溶液、反應(yīng)離子或其它機(jī)械方式來剝離、去除材料的一種統(tǒng)稱,成為微加工制造的一種普適叫法??涛g最簡單最常用分類是:干法刻蝕和濕法刻蝕。它們的區(qū)別就在于濕法使用溶劑或溶液來進(jìn)行刻蝕。
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