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離子束刻蝕系統(tǒng)

離子束刻蝕系統(tǒng)

也稱為離子銑，是指當(dāng)定向高能離子向固體靶撞擊時,能量從入射離子轉(zhuǎn)移到固體表面原子上，如果固體表面原子間結(jié)合能低于入射離子能量時，固體表面原子就會被移開或從表面上被除掉。通常離子束刻蝕所用的離子來自惰性氣體。離子束最小直徑約10nm。目前聚焦離子束刻蝕的束斑可達100nm以下，最少的達到10nm，獲得最小線寬12nm的加工結(jié)果。
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離子束刻蝕系統(tǒng)
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