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日本Samco紫外臭氧清洗機 UV-1

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產(chǎn)品特點

日本Samco紫外臭氧清洗機 UV-1, 是一款緊湊型臺式紫外線臭氧清洗機。該系統(tǒng)將紫外線照射、臭氧和平臺加熱獨特地結合在一起,溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導體(GaN、GaAs、InP、SiC

詳細介紹

日本Samco紫外臭氧清洗機 UV-1

概要

UV-1是一款緊湊型臺式紫外線臭氧清洗機。該系統(tǒng)將紫外線照射、臭氧和平臺加熱獨特地結合在一起,溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導體(GaN、GaAs、InP、SiC)、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。


主要特點和優(yōu)點

  • 最 大加工尺寸為?100 mm(4英寸)。

  • 加熱階段加快了清洗速度,實現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。

  • 緊湊,使用最小的臺式空間

  • 簡單,在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。

  • 柔軟、完全干燥的工藝不會對基材造成電損傷。

  • 蓋子聯(lián)鎖保證了當蓋子打開時,系統(tǒng)無法運行。

  • 臭氧催化劑裝置,用于將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

  • 安全性能自動N?凈化循環(huán)、加熱級保險絲保護、臭氧洗滌器和緊急停止開關。

應用

  • 塑料包裝和引線框架的表面清潔。

  • 復合半導體(GaN、GaAs、InP和SiC)的表面清洗。

  • 表面改性(潤濕性和附著力的改善

  • 表面氧化(薄氧化層沉積)

  • 光阻劑的灰化、剝離和除塵。

  • 清除有機污染物

  • 紫外線固化


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