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Leica EM TIC 3X 三離子束切割儀

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產(chǎn)品特點

Leica EM TIC 3X通過離子槍激發(fā)獲得的離子束,以垂直于樣品側(cè)面縱向轟擊樣品,可獲得高質(zhì)量無應力“切割”截面,以用于掃描電子顯微鏡(SEM),顯微結(jié)構(gòu)分析(EDS,WDS,Auger,EBSD)和AFM研究、觀察。

詳細介紹

高通量,提高成本收益

  • 可獲得高質(zhì)量切割截面,區(qū)域尺寸可達>4×1 mm。

  • 多樣品臺設計可一次運行容納三個樣品。

  • 離子研磨速率高,Si 材料 150 μm/h,50 μm 切割高度,可滿足實驗室高通量要求。

  • 可容納最大樣品尺寸為 50×50×10 mm。

  • 可使用的樣品載臺多種多樣。

簡單易用,高精度

  • 可簡易準確地完成將樣品安裝到載臺上以及調(diào)節(jié)與擋板相對位置的校準工作。

  • 通過觸摸屏進行簡單操控,不需要特別的操作技巧。

  • 樣品處理過程可實時監(jiān)控,可以通過體視鏡或 HD-TV 攝像頭觀察。

  • LED照明,便于觀察樣品和位置校準。

  • 內(nèi)置式,解耦合設計的真空泵系統(tǒng),提供一個無振動的觀察視野。

  • 可在制備好的平整的切割截面上可再進行襯度增強作用,即離子束刻蝕處理。

  • 幾乎適用于任何材質(zhì)樣品。

  • 使用冷凍樣品臺,擋板和樣品溫度可降至-150 °C。

多種多樣的樣品載臺

     幾乎適合于各式尺寸樣品,并適合于廣泛用途。如用一個樣品托,就可以完成前機械預制備(Leica EM TXP)至離子束切割(Leica EM TIC 3X),以及 SEM 鏡檢,然后再放入樣品存儲盒中以備后續(xù)檢測。

襯度增強作用

     在離子束切割之后,無需取下樣品,用同樣的樣品載臺還可對樣品進行襯度增強作用,可以強化樣品內(nèi)不同相之前的拓撲結(jié)構(gòu)(如晶界)。

人體工學設計,簡單易用;與LeicaEMTXP相兼容。

技術參數(shù)

樣品尺寸

可容納樣品尺寸50X50X10mm,可獲得有效切割截面面積>4mmX1mm

表面拋光最大可容納樣品φ38mm,厚度12mm

離子槍

離子槍類型

3 只鞍式離子槍,獨立電源控制。

離子束能量

1 keV - 10 keV

離子束電流

0.5 - 4.5 mA,0.1 mA 步長調(diào)節(jié) (單個離子槍)

離子束密度

10 mA/cm2(單個離子槍)

切割速率(邊緣 50 μm 處)

2.5 μm/min (100% Si:10 keV,3.5 mA)

陰極使用壽命

> 350 h(8 kV,3.0 mA)

工作氣體

氬氣,純度 99.999%(也可以使用其他氣體)。

輸入氣壓 0.2 - 0.8 bar

觀察系統(tǒng)

S6E(16771437):最大放大倍率(40 x)、分辨率(~ 12 μm)。

M80(16771438):最大放大倍率(77 x)、分辨率(~ 7 μm)。

M80(16771439):最大放大倍率(23 x)、分辨率(~ 3 μm)。
樣品臺

可選配:液氮制冷冷臺-150°至30°,25L液氮罐及自動泵,具有自動快速制冷功能

可選配:三樣品臺,可一次連續(xù)處理三個樣品

可選配:旋轉(zhuǎn)樣品臺,用于對樣品進行離子束拋光

環(huán)境條件

濕度

≤ 80%(無冷凝水)。

溫度

15 °C - 30 °C

海拔

低于2000 m

設備污染指數(shù)(IEC 61010-1)

2



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