【Gatan】697 Ilion II Datasheet寬束氬離子拋光系統(tǒng)

產(chǎn)品綜合介紹

產(chǎn)品功能介紹

氬離子拋光系統(tǒng)是一個用于樣品的截面制備及平面拋光的桌面型制樣設備，以便樣品在SEM及其它設備上進行檢測分析?？衫?/span>IlionII進行拋光加工的材料種類十分廣泛，包括由多元素組成的試樣，以及具有不同的機械硬度、尺寸和物理特性的合金、半導體材料、聚合物和礦物等。如焊縫截面，集成電路焊點，多層薄膜截面，顆粒、纖維斷面，復合材料、陶瓷、金屬及合金、巖石礦物及其他無機非金屬等各種材料的SEM、EBSD樣品。

品牌介紹

美國Gatan公司成立于1964年并于70年代末進入ZG市場。Gatan公司以其產(chǎn)品的高性能及技術(shù)的先進性在全球電鏡界享有極高聲譽。

作為世界領(lǐng)xian的設計和制造用于增強和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商，其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產(chǎn)品應用范圍包括材料科學、生命科學、地球物理學、電子學，能源科學等領(lǐng)域， 客戶范圍涵蓋全球的科研院所，高校，各類檢測機構(gòu)及大型工業(yè)企業(yè)實驗室，并且在國際科學研究領(lǐng)域得到了廣泛認同。

經(jīng)銷商介紹

歐波同有限公司是ZG領(lǐng)xian的微納米技術(shù)服務供應商，是一家以外資企業(yè)作為投資背景的高新技術(shù)企業(yè)，總部位于香港，分別在北京、上海、遼寧、山東等地設有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡、Gatan掃描電子顯微鏡制樣設備及附屬分析設備在ZG地區(qū)最重要的戰(zhàn)略合作伙伴，公司秉承“打造國內(nèi)影響力的儀器銷售品牌”的經(jīng)營理念，與蔡司，Gatan品牌強強聯(lián)合，正在為數(shù)以萬計的ZG用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與國際技術(shù)服務。

產(chǎn)品主要技術(shù)特點

氬離子拋光系統(tǒng)采用兩支具有低能聚集的小型潘寧離子槍，可提供快速柔和的拋光效果。低至100eV的離子束提供更柔和的拋削效果，用于樣品的拋光。新型低能聚焦電極使得離子束的直徑在幾乎整個加速電壓范圍內(nèi)都保持恒定。每個槍都可準確獨立地將離子束對中在樣品上，從而產(chǎn)生極高的離子拋光速率。在操作過程中，可隨時改變槍的角度。通過控制氣體流量可將槍電流變化范圍控制在0~100mA之間。在觸摸屏上通過手動或者自動方式調(diào)節(jié)氣體流量使每個槍的工作電流得到zuiyou化。

集成的10英寸彩色觸摸屏計算機可對Ilion II的所有操作參數(shù)進行完全控制。此界面不僅可以設定所有參數(shù)并能夠監(jiān)控拋光過程。所有的操作參數(shù)還可以存為配方，調(diào)用配方可獲得高精度重復實驗。

渦輪分子泵搭配兩級隔膜泵保證了超潔凈環(huán)境。GatanZG的氣動控制Whisperlock技術(shù)能實現(xiàn)快速樣品交換（< 1分鐘），省去了換樣過程中必須完全泄真空至大氣的煩惱。

1. 氣鎖裝置實現(xiàn)快速樣品交換、始終保持潔凈的高真空狀態(tài)

2. 10英寸觸摸屏可對系統(tǒng)進行完全控制與監(jiān)測

3. 配方模式的控制界面，用于一鍵操作

4. 質(zhì)量流量控制器提供精確和可重復的氬離子電流的控制

5. 槍電壓范圍為100V到8000V的三元（陰極、陽極與聚焦極）構(gòu)造潘寧離子槍

6. 每個槍的拋光角度可調(diào)范圍為-10度~10度，增量為0.1度

7. 扇形拋光角度可變且可程序化，范圍從10度~90度

8. 離子槍無需零件更換，壽命超過30,000小時

9. GatanZG的樣品/擋板配置，裝樣簡單，再次拋光位置準確

10. 獨特的離子束調(diào)制功能，可進行扇形拋光和平面拋光

11. 潔凈的真空系統(tǒng)，分子泵與隔膜泵搭配

12. 操作簡單，維護方便

拋光前- 俯視SEM圖CuInSe2樣品 拋光90S后SEM 圖 CuInSe樣品

產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：

1、 離子槍：兩個配有稀土磁鐵的三元構(gòu)造（陰極、陽極與聚焦極）潘寧離子槍，聚焦離子束設計,高性能無耗材

2、 拋光角度： +10° 到 -10° ，每個離子槍可獨立調(diào)節(jié)

3、 離子束能量：100 V 到 8.0 kV

4、 離子束流密度：10 mA/cm2 峰值

5、 拋光速度：300 μm/h（8.0 kV條件下對于硅試樣）

4.2樣品臺

6、樣品裝載：IlionZG的樣品擋板, 裝樣簡單，再次拋光位置準確，可重復使用，配合Sample Stub可直接轉(zhuǎn)至SEM中觀察

7、樣品旋轉(zhuǎn)：0.5到6 rpm連續(xù)可調(diào)

8、束流調(diào)制：獨特的離子束調(diào)制功能，可進行扇形截面拋光（扇形角度為10到90度可調(diào)）和平面拋光。

9、樣品觀察：數(shù)碼變焦顯微鏡，配有PC及Digital Micrograph軟件采集圖像，通過Gatan Digital Micrograph軟件可進行實時成像（300x2,200x）與圖像存儲和分析

10、液氮冷臺：配置液氮冷臺，樣品zuidi溫度可達-120°C,有效減少離子束對樣品造成的損傷

4.3真空系統(tǒng)

11、干泵系統(tǒng)：兩級隔膜泵支持80升/秒的渦輪分子泵

12、壓力：5x10-6 托基本壓力，8.5x10-5托工作壓力

13、真空規(guī)：冷陰極型，用于主樣品室；固體型，用于前級機械泵

14、樣品空氣鎖：獨特的Whisperlok設計，樣品更換時間<1Min，無需破樣品室真空

4.4用戶界面

15、10 英寸觸摸屏：操作簡單，且能夠完全程序化控制所有參數(shù)可進行配方操作。

16、配方操作模式：自定義不同的加工參數(shù)組合，實現(xiàn)一鍵操作。

產(chǎn)品主要應用領(lǐng)域：

EBSD樣品制備

截面樣品制備

金屬材料（合金，鍍層）

石油地質(zhì)巖石礦物

光電材料

化工高分子材料

新能源電池材料

電子半導體器件

PCB電路版截面拋光SEM圖

鍍鋅鋼板截面拋光

Zn晶粒 Fe晶粒