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形貌儀

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詳細(xì)介紹

儀器簡介:
NanoMap-D (雙模式) 三維輪廓儀使成像提高到一個(gè)新的水平。它所具有技術(shù)競爭力在于接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的wan美結(jié)合。自動采樣運(yùn)動和一鍵測量功能使得 NanoMap-D 在三維圖像世界里向前更進(jìn)一步。
通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。NanoMap-D給使用者帶來更高水平的的測量靈活性。該平臺幾乎可以測量任何樣品(甚至包括反射率0%,非平面樣品)
開放式平臺架構(gòu)采用花崗巖,光學(xué)平面參考平臺。測試儀可以測試變長200mm的掃描區(qū)域(更大的掃描范圍選擇亦可實(shí)現(xiàn))。白光干涉儀要配合使用防震平臺和隔音罩 以確保的消除噪音。
2維、3維的直方圖等視圖
NanoMap-D 可以呈現(xiàn)2維和3維圖像。利用所提供的軟件,通過設(shè)置一些選項(xiàng)、可以得到客戶需求的的曲線、標(biāo)繪、視圖(例如直方圖及雷達(dá)圖等)
NanoMap-D 可以同時(shí)有探針掃描和樣品臺掃描兩種模式。探針掃描利用電壓驅(qū)動探針在最大范圍達(dá)到500x500微米的區(qū)域內(nèi)移動并且產(chǎn)生極高分辨率的圖像。樣品臺掃描則是移動樣品臺來產(chǎn)生高分辨率的圖像。因?yàn)殡妷候?qū)動比XY軸運(yùn)動更為精確所以探針掃描產(chǎn)生的圖像要遠(yuǎn)遠(yuǎn)好于樣品臺掃描得到的圖像。通過一個(gè)按鍵開關(guān),可以選擇三維輪廓儀使用探針掃描模式還是樣品臺掃描模式。
垂直分辨率 高精度掃描0.1nm;大范圍掃描0.01um
垂直測量范圍 高精度掃描最大到 5um; 大范圍掃描最大到 2000um
掃描范圍 達(dá)到 150mm x 150mm (仍可提升)
XY 軸樣品臺掃描精度 0.1um;
探針壓力 0.01mg到 100mg
光學(xué)觀測系統(tǒng)視野范圍 1.5 x 1.5mm
I明場、暗場調(diào)節(jié) 軟件設(shè)置強(qiáng)度
NanoMap-D雙模式掃描三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款測量計(jì)量型設(shè)備。既可以
用于科學(xué)研究,也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等
3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量
6、微電子表面分析和MEMS表征

主要特點(diǎn):

包含接觸式和非接觸式兩種掃描方式

高精度
卓越的縱向分辨率:0.1 nm ( 接觸式);2 nm(光學(xué)非接觸式)
對周圍環(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性
沒有機(jī)械過濾
寬闊的垂直測量范圍
多種選擇光學(xué)頭及接觸式
縱向掃描范圍 300 to 3900 m
圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)
SY于幾乎所有的表面
透明,不透明,反射光強(qiáng)等多種材料
垂直臺階,高寬深比,隆起,孔洞
脆性的材料,軟材料,柔性材料表面
尖銳的,堅(jiān)硬的,磨損的表面
適應(yīng)性強(qiáng)
白光光源,人體安全設(shè)計(jì),長壽命白光LED 免維護(hù)??梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室,甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的wan美結(jié)合
接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式,三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到150mm。
在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察
針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,同時(shí)擁有寬闊測量動態(tài)范圍(最大至500μm)及亞納米級垂直分辨率?。ㄗ钚。?1nm )
軟件設(shè)置恒定微力接觸(0.1 to 100 [mg])

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