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掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000

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產(chǎn)品特點(diǎn)

Hitachi的掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000「先進(jìn)的SEM設(shè)計(jì)得更加緊湊」
只有45厘米寬的緊湊型設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了4.0 nm的分辨率。
全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng),使性能大幅提升。

詳細(xì)介紹

Hitachi的掃描電子顯微鏡 FlexSEM 1000「先進(jìn)的SEM設(shè)計(jì)得更加緊湊」 只有45厘米寬的緊湊型設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了4.0 nm的分辨率。 全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng),使性能大幅提升。


特色
    • 緊湊型設(shè)計(jì),分辨率為4 nm*1

    • 通過(guò)高靈敏度二次電子探測(cè)器,背散射探測(cè)器,低真空探測(cè)器(UVD*2),實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察

    • 操作簡(jiǎn)捷,即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片

    • 新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野

    • 大窗口(30 mm2)SDD能譜系統(tǒng),便于快速分析元素成分*2

  • *1

  • 設(shè)置在桌面時(shí),分離主機(jī)和電源箱

  • *2

  • 選配


規(guī)格
項(xiàng)目內(nèi)容
分解能*34.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)
加速電壓0.3 kV ~ 20 kV
放大倍率6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (顯示倍率)
低真空模式真空范圍:6 ~ 100 Pa
電子槍預(yù)對(duì)中鎢燈絲
樣品臺(tái)3-軸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°
最大樣品尺寸直徑80 mm
最大樣品高度40 mm
尺寸主機(jī):450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm
探測(cè)器選配
  • 高靈敏度低真空二次電子探測(cè)器(UVD)

  • 能量分散型X線探測(cè)器(EDS)

  • *3

  • 主機(jī)與供電單元組合使用

  • *

  • PC、桌子、機(jī)械泵、顯示器需要本地采購(gòu)

 


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