Diener等離子表面處理設(shè)備 德國原裝進(jìn)口

德國Diener是專門生產(chǎn)經(jīng)濟(jì)、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設(shè)備的公司, 是世界上材料處理低溫等離子體設(shè)備的市場和技術(shù)**者。Diener采用先進(jìn)的集成化技術(shù)開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等離子應(yīng)用zuixianjin技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機(jī)。

目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于：等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科研、半導(dǎo)體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域。其設(shè)備生產(chǎn)零件均選用其零件行業(yè)的zuiyou質(zhì)產(chǎn)品，以保證性能技術(shù)穩(wěn)定。

德國diener等離子表面處理設(shè)備特點(diǎn)：

• 等離子清洗機(jī)清洗效果好，效率高，應(yīng)用范圍廣。

• 對(duì)清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求

• 等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。

• 射頻功率無極連續(xù)可調(diào)。

• 高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。

• 特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可充分利用真空艙體內(nèi)部空間，使處理效率最大化，同時(shí)也可保證樣品可得到全面有效的清洗。

• 特有的過載、短路和過熱保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全。

• 設(shè)備整體模塊化設(shè)計(jì)，安裝與維護(hù)極為簡單。

德國diener等離子表面處理設(shè)備的應(yīng)用范圍：

• 清洗電子元件、光學(xué)器件、激光器件、鍍膜基片、芯片。

• 清洗光學(xué)鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。

• 移除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì)。

• 清洗ATR元件、各種形狀的人工晶體、天然晶體和寶石。

• 清洗半導(dǎo)體元件、印刷線路板。

• 清洗生物芯片、微流控芯片。

• 清洗沉積凝膠的基片。

• 高分子材料表面修飾。

• 牙科材料、人造移植物、醫(yī)療器械的消毒和殺菌。

• 改善粘接光學(xué)元件、光纖、生物醫(yī)學(xué)材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。

• 煤、石棉灰化。

Diener Tetra30 Plasma

主要技術(shù)參數(shù)：

1.*便捷的PC觸摸屏控制，操作系統(tǒng)為Windows CE5.0(ARM)

2.*根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù)

3.雙路工作氣體，氣體流量通過數(shù)字式流量計(jì)（MFC）控制

4.*反應(yīng)艙為不銹鋼，寬305mm ×深625 mm×高300 mm，容積約為50L

5.高周波電流頻率13.56MHz,功率0~300W

6.反射波自動(dòng)調(diào)節(jié)，無須手工調(diào)節(jié)

7.電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼

8.運(yùn)行模式為手動(dòng)/自動(dòng)

9.*可存儲(chǔ)多套工藝程序，圖表實(shí)時(shí)顯示工藝過程

10.真空泵的排氣能力為16m3/Hour，配有強(qiáng)制進(jìn)氣閥

11.*配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值

12.電源電壓：400V /16A