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TMC LaserTable-Base混合壓電陶瓷/氣浮主動(dòng)隔振系統(tǒng)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

采用STACIS專li技術(shù)
主動(dòng)式壓電陶瓷內(nèi)部振動(dòng)消chu系統(tǒng)從低于1Hz開始隔離振動(dòng)
擴(kuò)展行程的壓電致動(dòng)器,*高達(dá)60微米6個(gè)隔振自由度

詳細(xì)介紹

LaserTable-Base對(duì)現(xiàn)有光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)隔離技術(shù)進(jìn)行了ji大改shan。通常,光學(xué)平臺(tái)是由低頻氣動(dòng)隔振系統(tǒng)支撐。雖然對(duì)于高頻的隔離非常有xiao,但是實(shí)際上被動(dòng)系統(tǒng)在1-3H乙范圍內(nèi)會(huì)放大振動(dòng)。

TMC的STACIS技術(shù)通過將壓電陶瓷制動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器結(jié)合的zhuan利技術(shù)來消chu而不是放大低頻振動(dòng),成功地克服了這些局限。LaserTable-Base綜合了氣浮和STACIS這兩種技術(shù)組成一個(gè)完整的振動(dòng)消chu系統(tǒng)。由于兩種隔離系統(tǒng)的串聯(lián),使此技術(shù)的振動(dòng)隔離范圍從非常低的頻率到非常高的高頻。

LaserTable-Base頂部的氣浮部分是模塊化的、可替換的。它可以是TMC的Gimbal PistonTM氣浮隔振支腿,或者M(jìn)axDampB氣浮隔離支腿,甚至可以是剛性支腿,這取決于實(shí)際應(yīng)用的需求。


特點(diǎn)

  • 采用STACIS專li技術(shù)

  • 主動(dòng)式壓電陶瓷內(nèi)部振動(dòng)消chu系統(tǒng)從低于1Hz開始隔離振動(dòng)

  • 擴(kuò)展行程的壓電致動(dòng)器,*高達(dá)60微米6個(gè)隔振自由度

  • 為達(dá)到*大振動(dòng)消chu,串聯(lián)2個(gè)隔離系統(tǒng)采用MaxDamp空氣隔離zhuan利技術(shù)操作簡單,性能穩(wěn)健,性價(jià)比高

  • 桌子下有可用于放置設(shè)備的可選貨架包含TMC的DC-2020數(shù)字控制器


模擬VC-A (2,000 μin./s,50 μm/s)振動(dòng)測試,負(fù)載為2000磅(907 kg)



將低頻被動(dòng)MaxDampQ氣浮隔振系統(tǒng)與壓電陶瓷主動(dòng)隔振系統(tǒng)串聯(lián),得到垂直和水平方向兩個(gè)單獨(dú)的隔振性能曲線。

由此產(chǎn)生的隔振性能對(duì)比明顯,以至于在某些頻率范圍內(nèi),我們受到測量儀器噪聲地板的限制,無法測量和演示完整的隔離性能。也就是說,在10-12 Hz以上,組合系統(tǒng)的實(shí)際性能有望超過理論隔振性能曲線,因?yàn)榻M合隔離理論上是兩個(gè)子系統(tǒng)提供的隔離能力的總和。


應(yīng)用案例



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光學(xué)平臺(tái):主動(dòng)隔振平臺(tái)、氣浮隔振臺(tái)、實(shí)驗(yàn)桌、剛性工作臺(tái)、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學(xué)y件:各類晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、tou射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

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