產(chǎn)品介紹
株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本第一家發(fā)表光學(xué)干杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
KOSAKA ET200 基于 Windows XP 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET 200 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色 CCD原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。

技術(shù)參數(shù)
一、測定工件：
1. 最大工件尺寸：φ160mm
2. 最大工件厚：50mm
3. 最大工件重量：2kg
二、檢出器（pick up）：
1. Z方向測定范圍：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 測定：10μN to 500μN
4. 觸針半徑：2 μm
5. 驅(qū)動方式：直動式
6. 再現(xiàn)性：1σ= 1nm
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)：
1. 移動量(最大測長)：100mm
2. 移動的真直：0.2μm/100mm
3. 移動,測定速：0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z軸：
1. 移動量：50mm
2. 移動速度：max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能：0.2μm
五、工件臺：
1. 工件臺尺寸：φ160mm
2. 機械手動傾斜： ± 1mm/150mm
、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍CCD)
七、床臺：材質(zhì)為花崗巖石
八、防振臺(選購)：地型或桌上型
九、電源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：W494×D458×H610mm, 120kg(含防震臺)