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美國(guó)Lake Shore TTPX桌面式低溫探針臺(tái)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

Lake Shore的TTPX探針臺(tái)是一款經(jīng)濟(jì)的、入門級(jí)的探針臺(tái),能夠進(jìn)行各種非破壞性的標(biāo)準(zhǔn)電子器件測(cè)量。緊湊的桌面設(shè)計(jì)非常適合學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)室研究環(huán)境。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:

Lake Shore的TTPX探針臺(tái)是一款經(jīng)濟(jì)的、入門級(jí)的探針臺(tái),能夠進(jìn)行各種非破壞性的標(biāo)準(zhǔn)電子器件測(cè)量。緊湊的桌面設(shè)計(jì)非常適合學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)室研究環(huán)境。

 

TTPX探針臺(tái)通過使用液氦或液氮的連續(xù)流制冷系統(tǒng)提供高效的低溫操作和控制,系統(tǒng)在4.2 K至475 K的溫度范圍內(nèi)運(yùn)行,可擴(kuò)展低至3.2 K或高至20 K~675 K的范圍。該系統(tǒng)可容納直徑達(dá)51 mm(2英寸)的完整和部分晶圓片。各種探針、測(cè)試電纜、樣品支架和選件使其能夠滿足多種特定的測(cè)量應(yīng)用。

 

TTPX探針臺(tái)是Lake Shore為光電材料表征而設(shè)計(jì)的高端產(chǎn)品,它具有背面光學(xué)接入選件和兼容的光學(xué)樣品座。I-V、C-V和微波測(cè)量是TTPX的標(biāo)準(zhǔn)選件。TTPX的多功能性和經(jīng)濟(jì)性使其成為世界各地許多研究人員的首 選工具。


主要特征

√  溫度范圍4.3 K~475 K

√  可選低溫3.2 K,可選高溫675 K

√  標(biāo)準(zhǔn)2英寸(51 mm)樣品

√  緊湊型桌面設(shè)計(jì)

√  樣品振動(dòng)<30 nm可選

√  環(huán)形磁體選件最 大0.19T

√  允許樣品背光接入


主要參數(shù)及描述

溫度范圍


安裝2個(gè)探針臂

基礎(chǔ)溫度4.3 K,控制范圍4.4 K ~ 475 K

安裝4個(gè)探針臂

基礎(chǔ)溫度4.325 K,控制范圍4.4 K ~ 475 K

安裝6個(gè)探針臂

基礎(chǔ)溫度4.35 K,控制范圍4.4 K ~ 475 K

安裝PS-LT低溫選件

基礎(chǔ)溫度3.2 K,控制范圍3.3 K ~ 475 K

安裝PS-HTSTAGE高溫選件

基礎(chǔ)溫度20 K,控制范圍20 K ~ 675 K

溫度穩(wěn)定性

液氦

液氮

基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制)

±15 mK

±20 mK

<10 K

±50 mK

10 K ~ 100 K

±20 mK

±50 mK

101 K ~ 250 K

±15 mK

±50 mK

251 K ~ 350 K

±15 mK

±100 mK

351 K ~ 675 K

±50 mK

±100 mK

真空

以TPS-FRG分子泵組為標(biāo)準(zhǔn)

抽真空時(shí)間

15 min (<1 × 10-3 Torr)

室溫

<5 × 10-4 Torr

基礎(chǔ)溫度

<1 × 10-5 Torr

最 高溫度

<5 × 10-3 Torr

循環(huán)時(shí)間


總循環(huán)

2 h

抽真空

15 min

探針臺(tái)冷卻

45 min

探針臺(tái)升溫

60 min

樣品


最 大尺寸

51 mm(2英寸)標(biāo)準(zhǔn)

樣品背光接口

5 mm (0.2 in) 直徑

樣品旋轉(zhuǎn)

樣品振動(dòng)

<300 nm標(biāo)準(zhǔn),<30 nm選配PS-PVIS減震選件

探針配置


最 大探針數(shù)

6

探針臂溫度計(jì)

用于監(jiān)視探針臂的溫度

冷卻探針支架

<35 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)

探針支架

連接樣品臺(tái)熱沉

探針臂支架

連接防輻射屏熱沉

DC/RF探針

電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量

微波探針

頻率范圍從DC到67GHz

光纖探針

可用于電光測(cè)量

落針范圍

所有探針均可在直徑為25.4 毫米(1 英寸)的圓內(nèi)落針


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