激光小角散射儀，通過(guò)收集和記錄散射光的強(qiáng)度和角度信息，獲得樣品的亞微米級(jí)特征尺寸、粗糙度、分布等表面特性。配備低發(fā)散角的激光光源、高速高靈敏度的CCD探測(cè)器，兼容多樣化的樣品環(huán)境，輕松滿足復(fù)雜多樣的測(cè)試需求。
激光光源 | |
波長(zhǎng) | 390 nm-780 nm |
功率 | 1 W-100 W |
功率穩(wěn)定性 | ＜1% |
發(fā)散角 | ＜0.015° |
樣品架/樣品臺(tái) | |
常規(guī)樣品臺(tái) | 樣品臺(tái)在垂直于入射光路的Z（豎直）方向自動(dòng)移動(dòng)的行程：±10 mm精度不低于 1 μm，樣品可精確對(duì)中；同時(shí)樣品臺(tái)X軸和Z軸，可沿著Y（光路）方向自動(dòng)移動(dòng)的行程±75 mm； |
多維度樣品臺(tái) | X /Y軸行程±75 mm，Z軸行程±10 mm，精度1 μm； β、γ轉(zhuǎn)角±7.5°，精度0.001°；α轉(zhuǎn)角360°，精度0.001°； |
其他原位樣品臺(tái) | 支持在各種原位環(huán)境下（溫度、拉伸、梯度）等進(jìn)行測(cè)試 |
探測(cè)器 | |
傳感器 | CMOS |
像元尺寸 | 10 μm×10 μm |
信噪比 | 40 dB |
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號(hào)