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λ/1000 D7系列超高精度激光干涉儀 Difrotec

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峰谷JD精度 ±0.6nm(λ/1000;峰谷分辨率 0.05 nm(λ/12000);波前均方根重復(fù)性 <0.23nm(λ/2800);簡單均方根重復(fù)性 <0.06 nm(λ/10500);激光類型和波長 穩(wěn)定He-Ne,632.8nm

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