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1200度 CVD管式燒結(jié)爐

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1200度 CVD管式燒結(jié)爐 核心參數(shù)
穩(wěn)定性 控溫精度:±1 最高溫度 1200℃

產(chǎn)品特點(diǎn)

NBD-CVD1200系列一體機(jī)可以實(shí)現(xiàn)真空高溫化學(xué)氣相沉積,適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等試驗(yàn)。

詳細(xì)介紹

設(shè)備簡介:

NBD-CVD1200系列一體機(jī)采用國際先進(jìn)制造工藝,從美學(xué)藝術(shù)角度出發(fā)根據(jù)人體安全的角度設(shè)計(jì),控制系統(tǒng)采用先進(jìn)的PLC+觸摸屏操控系統(tǒng),操作更加簡單方便。溫度控制采用先進(jìn)的PID模糊控制,使控溫精度保持在±1℃。適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等試驗(yàn)。     

 

 

設(shè)備簡介:

1.爐體與控制系統(tǒng)集成一體化,使試驗(yàn)方便快捷直觀。

2.配有多路質(zhì)量流量計(jì)混氣氣路,可以單獨(dú)設(shè)置氣體流量。

3.精確PID程序多段控制,實(shí)現(xiàn)不同工藝多段溫度時間監(jiān)控。

4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果好。

5.配備機(jī)械泵和分子真空泵,可以實(shí)現(xiàn)高真空條件。

產(chǎn)品型號

NBD-O1200-50TID2Z

爐管直徑

Φ50、φ60、φ80、φ100   (可自選)

工作溫度

≤1100℃

溫區(qū)選擇

單溫區(qū)

雙溫區(qū)

三溫區(qū)

加熱區(qū)尺寸

440mm

200mm + 200mm

200mm + 400mm + 200mm

電器規(guī)格

AC220V 4KW

AC220V 5KW

AC220V 8KW

升溫速率

建議 10℃/min

控制系統(tǒng)

 

氣體系統(tǒng)(可選購)

流量計(jì)類型

浮子流量計(jì)

質(zhì)量流量計(jì)

管道示意圖

 

進(jìn)氣接口數(shù)量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-250/20-800ml/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC220V

高真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測量計(jì)

復(fù)合真空計(jì)

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標(biāo)定做,更多型號,歡迎來電垂詢。

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