特點(diǎn)

X'Pert3MRD 經(jīng)過專門設(shè)計(jì)，符合現(xiàn)代材料研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的要求。X'Pert3MRD 的開發(fā)重點(diǎn)考慮了薄膜應(yīng)用的需要，因此提供了多種樣品架，可容納直徑達(dá) 200 mm 的晶圓，亦能用于晶圓表面的多點(diǎn)掃描。其大型樣品臺(tái)可以裝載多個(gè)樣品。

X'Pert3 MRD 將新技術(shù)融入到了測(cè)角儀軸承設(shè)計(jì)和位置編碼中，從而提高了整體性能。在測(cè)角儀軸承上應(yīng)用的創(chuàng)新成果改進(jìn)了黏滑行為，即使是在高負(fù)載條件下，也能夠極其流暢地作旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。在 omega 和 2theta 軸上使用了一流的 Heidenhain 光學(xué)編碼器，因而改進(jìn)了短距離和長(zhǎng)距離準(zhǔn)確性，并且同時(shí)提高了位置報(bào)告和測(cè)角儀定位的速度。

X'Pert3 MRD 的歐拉環(huán)樣品臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高精度、可重復(fù)且無(wú)障礙的移動(dòng)，方便進(jìn)行樣品旋轉(zhuǎn)、傾斜以及 x 軸、y 軸和 z 軸平移，確保為要求嚴(yán)格的 XRD 應(yīng)用實(shí)現(xiàn)用途廣泛且準(zhǔn)確的樣品定位。

馬爾文帕納科的 PreFIX（預(yù)校準(zhǔn)且可快速更換的 X 射線模塊）概念使 MRD 能夠在無(wú)需重新校準(zhǔn)的情況下進(jìn)行更換配置。當(dāng)實(shí)驗(yàn)要求發(fā)生改變時(shí)，可以輕松添加新的 PreFIX 組件，這使得整套方案變得靈活、快速且能滿足未來(lái)的需要?？商峁┻x擇豐富的 PreFIX 模塊，包括：

• X 射線平行光反射鏡

• 復(fù)晶單色器

• 高分辨率四晶單色器

• 多毛細(xì)管透鏡

• 程控和固定的發(fā)散及防散射狹縫

• 交叉狹縫和單毛細(xì)管光學(xué)器件

馬爾文帕納科的探測(cè)器產(chǎn)品組合在不斷發(fā)展。PIXcel3D 探測(cè)器具有在半導(dǎo)體和薄膜應(yīng)用中的特殊優(yōu)勢(shì)，該探測(cè)器具備完整的多功能性，允許實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍的測(cè)量，而無(wú)需進(jìn)行光束衰減。PIXcel 探測(cè)器可用于各類應(yīng)用需求，可以輕松地將它從 0D 接收狹縫模式切換為 1D 和 2D 靜態(tài)及掃描模式。